少子壽命測(cè)量?jī)xBCT-400

Sinton BCT-400

是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測(cè)量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備，具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測(cè)量模式。該設(shè)備可探測(cè)3mm 深度范圍少子壽命，并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值，可實(shí)現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測(cè)量，并能通過(guò)軟件端光強(qiáng)偏置實(shí)現(xiàn)單晶缺陷密度計(jì)算。

BCT-400 設(shè)備將為光伏客戶生產(chǎn)高質(zhì)量太陽(yáng)能級(jí) 單晶硅片提供有力的質(zhì)量保證手段。

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BCT-400測(cè)量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測(cè)量單晶和多晶硅（錠或塊）的少子壽命.

因?yàn)樯僮訅勖鳛楹饬可L(zhǎng)和缺陷含量的的最敏感的技術(shù)參數(shù)，這個(gè)工具直接獲得長(zhǎng)硅的質(zhì)量參數(shù)。

作為最易于使用的測(cè)量工具－－BLS，只需要有直徑150mm大小的平面。如果只是測(cè)量平面樣品的話，請(qǐng)選擇BCT-400。

產(chǎn)品簡(jiǎn)述：

1.用途（高頻光電導(dǎo)）

用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測(cè)量，除需要有一個(gè)測(cè)量平面外，對(duì)樣塊

體形無(wú)嚴(yán)格要求，可測(cè)塊狀和片狀單晶壽命。壽命測(cè)量可靈敏地反映單晶體

內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況，是單晶質(zhì)量的重要檢測(cè)項(xiàng)目。

2.設(shè)備組成

2.1光脈沖發(fā)生裝置

重復(fù)頻率＞25次/s 脈寬＞60????光脈沖關(guān)斷時(shí)間＜1????/p>

紅外光源波長(zhǎng)：1.06～1.09??（測(cè)量硅單晶） 脈沖電流：5A～20A

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Sinton 少子壽命測(cè)量?jī)x，BCT-400測(cè)試硅錠，BLS-I測(cè)試硅棒，Sinton X-閃光燈頭，Sinton X5D閃光燈頭，Sinton X閃光燈座。

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Sinton BCT-400少子壽命測(cè)量?jī)x

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BCT-400測(cè)量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測(cè)量單晶和多晶硅（錠或塊）的少子壽命.
是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測(cè)量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備，具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測(cè)量模式。該設(shè)備可探測(cè)3mm 深度范圍少子壽命，并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值，可實(shí)現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測(cè)量，并能通過(guò)軟件端光強(qiáng)偏置實(shí)現(xiàn)單晶缺陷密度計(jì)算。

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Sinton BLS-I少子壽命測(cè)量?jī)x

BLS-I測(cè)量系統(tǒng)用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測(cè)量，除需要有一個(gè)測(cè)量平面外，對(duì)樣塊 體形無(wú)嚴(yán)格要求，可測(cè)塊狀和片狀單晶壽命。壽命測(cè)量可靈敏地反映單晶體 內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況，是單晶質(zhì)量的重要檢測(cè)項(xiàng)目。

如測(cè)量鍺單晶壽命需配置適當(dāng)波長(zhǎng)的光源

測(cè)量參數(shù) 少子壽命、電阻率、陷阱密度

可測(cè)量的少子壽命范圍 0.1us-10ms

可測(cè)量的電阻率范圍 0.5-300ohm.cm

分析模式

準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)方法少子壽命分析

瞬態(tài)方法少子壽命分析

一般方法少子壽命分析

可施加的用于修正陷阱的偏執(zhí)光范圍 0-50suns

可以測(cè)量的樣品的表面類型

表面為平的硅塊樣品（BCT-400）

表面不平整的硅塊樣品（BLS-I）

不平整弧度的直徑可達(dá)150mm

光源光譜 白光和紅外光

感應(yīng)器的面積 45cm*45cm

可測(cè)量深度 3mm

操作簡(jiǎn)單、靈敏度高

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BLS-I and BCT-400測(cè)量系統(tǒng)對(duì)于單晶硅或多晶硅（硅錠或硅塊）不需要進(jìn)行表面鈍化就可以進(jìn)行壽命測(cè)量。因?yàn)閴勖鼫y(cè)量是描述生長(zhǎng)特征和污染缺陷靈敏度先進(jìn)的技術(shù)，這些工具允許你評(píng)估硅生長(zhǎng)后的質(zhì)量。

性能優(yōu)越

非接觸方式量測(cè)真正意義上的硅塊少子壽命，符合SEMI的PV13標(biāo)準(zhǔn)；相比業(yè)界其他少子壽命測(cè)試儀BLS-I/BCT系列是性能更優(yōu)越的少子壽命測(cè)試儀。

多型號(hào)選擇

如果想要設(shè)備能夠測(cè)量多種的表面類型（150mm直徑到平滑的）請(qǐng)選BLS-1.如果是僅需要測(cè)量平滑表面，請(qǐng)選擇BCT-400.

BCT400/BLS-1應(yīng)用

廠商品質(zhì)監(jiān)控常見的測(cè)量設(shè)備，擁有廣泛客戶群

??測(cè)量壽命在1-5ms(豪秒）范圍內(nèi)的高純度硅

??測(cè)量沒(méi)有進(jìn)行特殊表面處理的原生直拉硅

??測(cè)量多晶硅塊的壽命和俘獲濃度

??探測(cè)氧化硼缺陷，鐵污染，和表面損害

??測(cè)試直拉硅，區(qū)熔硅，多晶硅或高純冶金硅的初始原料質(zhì)量